[发明专利]具偏移歧管的内部清洗喷洒器

摘要

本发明提供一种用于衬底容器的清洗塔组合件。所述组合件可包含用于安装到衬底容器的底板的清洗接口本体，所述清洗接口本体包含基座部分及顶部部分。所述基座部分可包含基本上管状基座侧壁且所述顶部部分可具有定位于所述基座部分的顶部边缘上的顶部侧壁。所述顶部部分可包含用于通过所述底板中的后部入口安装的入口喷嘴。所述入口喷嘴可具有从所述顶部侧壁向上延伸且界定所述入口喷嘴的内部的基本上管状侧壁。所述基座部分及所述顶部侧壁可界定安置成连接到所述基座部分及所述入口喷嘴的偏移导管部分，所述基座部分及所述入口喷嘴经由所述偏移导管部分流体连通。

主权项

1.一种用于衬底容器的清洗塔组合件，所述清洗塔组合件包括：清洗接口本体，其用于安装到衬底容器的底板，所述清洗接口本体包含：基座部分，其具有从底部边缘向上延伸到顶部边缘的基本上管状基座侧壁，所述底部边缘界定用于接达到所述基座部分的内部的第一孔隙，所述第一孔隙是围绕第一轴线同心；及顶部部分，其连接到所述基座部分，所述顶部部分包含定位于所述基座部分的所述顶部边缘上的顶部侧壁，所述顶部部分包含经配置用于通过所述衬底容器的所述底板中的入口安装的入口喷嘴，所述入口喷嘴具有从所述顶部侧壁向上延伸到喷嘴边缘的基本上管状喷嘴侧壁，所述喷嘴边缘界定用于接达到所述入口喷嘴的内部的第二孔隙，所述第二孔隙是围绕基本上平行于所述第一轴线且定位于所述第一轴线后部的第二轴线同心，其中所述顶部侧壁与所述基座部分配合以界定安置在所述第一孔隙与所述入口喷嘴之间的偏移导管部分，所述基座部分及所述入口喷嘴经由所述偏移导管部分流体连通。