[发明专利]偏振光照射装置以及偏振光照射方法在审
| 申请号： | 201680056639.9 | 申请日： | 2016-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN108139630A | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 桥本和重;新井敏成 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供偏振光照射装置以及偏振光照射方法。能够使偏振光照射装置小型化，尤其能够缩短长边方向的长度。供对象物载置的工作台、照射沿着与对象物的扫描方向大致正交的方向的大致带状的偏振光的偏振光照射部、以及测定从偏振光照射部照射出的光的特性的光学测定器设置成，当偏振光照射部处于待机位置时水平方向的位置不重叠。光源移动部使偏振光照射部沿着对象物的扫描方向移动而通过光学测定部的上方，并且通过工作台的上方。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振光照射 偏振光照射装置 对象物 扫描方向 工作台 照射 偏振光 光学测定部 待机位置 光学测定 光源移动 不重叠 正交的 长边 载置 移动 | ||
【主权项】：
一种偏振光照射装置，其特征在于，所述偏振光照射装置具备：工作台，其供对象物载置；偏振光照射部，其照射沿着与所述对象物的扫描方向大致正交的方向的大致带状的偏振光；光学测定器，其测定从所述偏振光照射部照射出的光的特性；以及光源移动部，其使所述偏振光照射部沿着所述对象物的扫描方向移动，当所述偏振光照射部处于待机位置时，所述工作台、所述偏振光照射部以及所述光学测定器设置成水平方向的位置不重叠。
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