[发明专利]碳纳米管的制造装置和制造方法有效
申请号: | 201680058037.7 | 申请日: | 2016-09-30 |
公开(公告)号: | CN108349728B | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 桥本刚;高野庆 | 申请(专利权)人: | 株式会社名城毫微碳 |
主分类号: | C01B32/159 | 分类号: | C01B32/159;C01B32/164;B01J19/24 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;王磊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 通过本发明提供的CNT制造装置(1)包括筒体的腔室(10)和设置于排气管(50)的控制阀(60)。腔室(10)包括:设置于该腔室(10)的筒轴方向的一部分范围的反应区(20);设置于比反应区(20)靠下游的位置的沉积区(22);检测表示沉积区(22)中的碳纳米管的沉积状态的物性值的沉积状态检测部(40)。CNT制造装置(1)构成为如下:在由沉积状态检测部(40)检测的物性值为规定的阈值以下时,关闭控制阀(60)而使碳纳米管沉积在沉积区(22);在该物性值超过规定的阈值时,打开控制阀(60)而回收沉积在沉积区(22)的碳纳米管。 | ||
搜索关键词: | 纳米 制造 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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