[发明专利]对CVD反应器中的电极夹持器进行绝缘和密封的设备

摘要

本发明涉及对CVD反应器中的电极夹持器进行绝缘和密封的设备，所述反应器包括适合于容纳细丝棒的电极，电极位于由导电材料制成并且安装在底板的凹坑中的电极夹持器上，其中在电极夹持器与底板之间设置有由在室温下的热导率为0.2至50W/mK、最小弯曲强度大于120MPa且在室温下的电阻率大于109Ωcm的材料制成的电绝缘环，其中在电极夹持器与底板之间具有至少两个环形密封元件以实现密封，其中电绝缘环或电极夹持器或底板包括至少一个凹槽，第一密封元件固定在凹槽中，其中在电绝缘环与底板之间或者在电绝缘环与电极夹持器之间具有至少一个并非固定在凹槽中的第二密封元件。

主权项

对CVD反应器中的电极夹持器进行绝缘和密封的设备，所述反应器包括适合于容纳细丝棒的电极，电极位于由导电材料制成并且安装在底板的凹坑中的电极夹持器上，其中在电极夹持器与底板之间设置有由在室温下的热导率为0.2至50W/mK、最小弯曲强度大于120MPa且在室温下的电阻率大于10⁹Ωcm的材料制成的电绝缘环，其中在电极夹持器与底板之间具有至少两个环形密封元件以实现密封，其中电绝缘环或电极夹持器或底板包括至少一个凹槽，第一密封元件固定在凹槽中，其中在电绝缘环与底板之间或者在电绝缘环与电极夹持器之间具有至少一个并非固定在凹槽中的第二密封元件。