[发明专利]压电元件、压电传声器、压电谐振子以及压电元件的制造方法有效
| 申请号： | 201680060519.6 | 申请日： | 2016-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN108140723B | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 梅田圭一;水野孝昭 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H01L41/187 | 分类号： | H01L41/187;H01L41/09;H01L41/113;H01L41/257;H01L41/316;H03H9/17;H04R17/02;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够高精度地进行相邻的压电体层的极化轴方向的控制的双压电晶片型的压电元件。本发明涉及的压电元件(1)具备：第一压电体层(4)，在厚度方向具有第一极化轴方向(P1)，并且由AlN构成；第二压电体层(5)，堆积在第一压电体层(4)上，具有与第一极化轴方向(P1)相反方向的第二极化轴方向(P2)，并且由GeAlN构成；第一电极(3a)，设置于第一压电体层(4)的与第二压电体层(5)侧相反的一侧；以及第二电极(3b)，设置于第二压电体层(5)的与第一压电体层(4)侧相反的一侧。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 传声器 谐振子 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压电元件，其中，具备：第一压电体层，在厚度方向具有第一极化轴方向，并且由AlN构成；第二压电体层，堆积在上述第一压电体层上，具有与上述第一极化轴方向相反方向的第二极化轴方向，并且由GeAlN构成；第一电极，设置于上述第一压电体层的与上述第二压电体层侧相反的一侧；以及第二电极，设置于上述第二压电体层的与上述第一压电体层侧相反的一侧。
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