[发明专利]通过测量电信号检测溶液中电活性物质的存在或流动有效
申请号: | 201680060703.0 | 申请日: | 2016-10-12 |
公开(公告)号: | CN108604553B | 公开(公告)日: | 2022-09-30 |
发明(设计)人: | B·T·莱登 | 申请(专利权)人: | SFC流体股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/44 | 分类号: | H01L21/44;H01L29/00;H01L21/4763 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈斌;钱孟清 |
地址: | 美国阿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 电化学传感器可以使用传感器测量溶液中的离子和/或电化学物质的流动,由于电活性物质不断与电极接触,通过扩散和对流的组合可以把电活性物质带到电极从而产生电信号。测量的电信号将随着离子和/或电化学物质的浓度和流量而变化。如果离子和/或电化学物质的浓度是已知的,则可以测量流量;相反,如果流量是已知的,则可以测量离子和/或电化学物质的浓度。传感器也可用于确认含有离子和/或电化学物质的流体输送。 | ||
搜索关键词: | 通过 测量 电信号 检测 溶液 活性 物质 存在 流动 | ||
【主权项】:
1.一种电化学传感器,包括:a.第一环形电极,所述第一环形电极包括第一电极环形部分;b.第二环形电极,所述第二环形电极邻近所述第一电极并包括第二电极环形部分;c.位于所述第一电极和所述第二电极之间的第一绝缘体;d.第三环形电极,所述第三环形电极邻近所述第二电极并包括第三电极环形部分;以及e.位于所述第二电极和所述第三电极之间的第二绝缘体;其中所述第一、第二和第三电极环形部分和所述绝缘体对齐,为流过其中的流体提供流动路径,所述流体包含一种或多种离子或电化学物质,其中所述第一、第二和第三电极被配置成测量来自所述流体的电信号。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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