[发明专利]探针卡和接触检查装置有效
| 申请号： | 201680061723.X | 申请日： | 2016-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN108351371B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 吉冈哲也;河野贵志;牧瀬茂喜;那须美佳 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了在进行通电检查期间施加有高电流时，通过抑制探针的温度过度升高来降低探针的弹簧性能下降的风险并且改善通电检查的检查精度，根据本发明的探针卡(11)包括具有弹簧性能的探针(3)和保持该探针(3)的探针头(15)，其中探针头(15)具有以能够在轴向(Z)上移动的方式保持探针(3)的引导单元(27)，并且该引导单元(27)设置有中间引导部(57A、57B、57C)作为散热结构(29)，该散热结构(29)吸收探针(3)因通电而产生的热并且使该热流动到探针(3)的外部。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 接触 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡，其包括：探针，所述探针具有弹簧性能；以及探针头，所述探针头保持所述探针，其中，所述探针头包括引导部，所述引导部以所述探针能够沿着轴向移动的方式保持所述探针，并且所述引导部包括散热结构，所述散热结构吸收所述探针因通电而产生的热并且使该热流动到所述探针的外部。
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