[发明专利]用于使负载的阻抗与功率发生器的输出端阻抗匹配的方法和阻抗匹配装置有效
| 申请号： | 201680062761.7 | 申请日： | 2016-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN108292581B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | F·迈尔;N·施维格 | 申请（专利权）人： | 通快许廷格两合公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H03H7/38 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于使负载(28)的阻抗与功率发生器(40)的输出端阻抗匹配的方法，所述方法包括以下方法步骤：a.借助功率发生器(40)生成功率；b.通过具有能够通过调整元件(12，14，16)改变的至少一个电抗(18，20，22)的阻抗匹配装置(10)向负载(28)供给所述功率，其中，所述阻抗匹配装置(10)将在所述负载(18)的输入端上的负载阻抗(27)转变为在所述阻抗匹配装置(10)的输入端上的经转换的负载阻抗(29)；c.检测或者确定在所述负载(28)上反射的功率或者至少一个与之有关系的参量；d.根据所述反射功率或者所述至少一个与之有关系的参量检查：是否存在不匹配；e.根据至少一个预给定的标准确定在复数的负载平面中、尤其在Smith图(60)中的轨迹曲线(50)；f.如此控制所述至少一个调整元件(12，14，16)，使得经转换的负载阻抗遵循所述轨迹曲线(50)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 负载 阻抗 功率 发生器 输出 阻抗匹配 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于使负载(28)的阻抗与功率发生器(40)的输出端阻抗匹配的方法，所述方法具有以下方法步骤：a.借助功率发生器(40)生成功率；b.通过具有能够通过调整元件(12，14，16)改变的至少一个电抗(18，20，22)的阻抗匹配装置(10)向负载(28)供给所述功率，其中，所述阻抗匹配装置(10)将在所述负载(18)的输入端上的负载阻抗(27)转变为在所述阻抗匹配装置(10)的输入端上的经转换的负载阻抗(29)；c.检测或者确定在所述负载(28)上反射的功率或者至少一个与之有关系的参量；d.根据所述反射功率或者所述至少一个与之有关系的参量检查：是否存在不匹配；e.根据至少一个预给定的标准确定在复数的负载平面中、尤其在Smith图(60)中的轨迹曲线(50)；f.如此控制所述至少一个调整元件(12，14，16)，使得经转换的负载阻抗遵循所述轨迹曲线(50)。
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