[发明专利]用于毫秒退火系统的流体泄漏检测有效
申请号: | 201680063481.8 | 申请日: | 2016-12-13 |
公开(公告)号: | CN108352344B | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 曼努埃尔·米勒;迪特尔·赫茨勒 | 申请(专利权)人: | 玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/324 |
代理公司: | 北京易光知识产权代理有限公司 11596 | 代理人: | 崔晓光 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供了用于对与毫秒退火系统中的流体冷却部件相关联的流体泄漏进行检测的系统和方法。在一个示例性实施方式中,毫秒退火系统可以包括具有一个或更多个流体冷却部件的处理腔室。该系统可以包括构造成提供处理气体在处理腔室中的流动的气体流动系统。该系统可以包括蒸气传感器,该蒸气传感器配置成对流动通过气体流动系统处理气体中的蒸气进行测量,以检测与一个或更多个流体冷却部件相关联的流体泄漏。 | ||
搜索关键词: | 用于 毫秒 退火 系统 流体 泄漏 检测 | ||
【主权项】:
1.一种热处理系统,包括:处理腔室,所述处理腔室包括一个或更多个流体冷却部件;气体流动系统,所述气体流动系统构造成提供处理气体在所述处理腔室中的流动;以及蒸气传感器,所述蒸气传感器配置成对流动通过所述气体流动系统的处理气体中的蒸气进行测量,以检测与所述一个或更多个流体冷却部件相关联的流体泄漏。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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