[发明专利]测试气体入口处的压力测量有效
| 申请号： | 201680064312.6 | 申请日： | 2016-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN108369151B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 亚尔马尔·布鲁恩斯;卢多尔夫·格道;诺伯特·莫瑟尔;君特·史密斯;丹尼尔·维茨格 | 申请（专利权）人： | 英福康有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 官建红 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于测量质谱检漏仪的测试气体入口(18)处的压力的装置，其中，质谱仪(12)连接到高真空泵(14)的入口(22)，所述高真空泵(14)的出口(24)连接到预真空泵(16)的入口(26)，并且其中，所述预真空泵(16)的所述入口(26)连接到所述测试气体入口(18)，其特征在于：所述预真空泵(16)的所述入口(26)和所述高真空泵(14)的至少一个中间入口(34)通过包括流体节流器(42)的连接管线(38)相互连接。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 气体 入口处 压力 测量 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量质谱检漏仪的测试气体入口(18)处的压力的装置，其中，质谱仪(12)连接到高真空泵(14)的入口(22)，所述高真空泵(14)的出口(24)连接到预真空泵(16)的入口(26)，并且其中，所述预真空泵(16)的所述入口(26)连接到所述测试气体入口(18)，其特征在于：所述预真空泵(16)的所述入口(26)和所述高真空泵(14)的至少一个中间入口(34)通过包括节流器(42)的连接管线(38)而彼此连接。
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