[发明专利]VUV光学器件的非接触式热测量有效
| 申请号： | 201680065637.6 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108291841B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | A·谢梅利宁;I·贝泽尔;K·P·格罗斯 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/48 | 分类号： | G01J5/48;G01J5/08;G02B27/14 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张世俊<国际申请>=PCT/US2016 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文中描述了用于以长波长红外光对光学元件执行非接触式温度测量的方法及系统。所述受测量光学元件对长波长红外光展现出低发射率，且通常对长波长红外光具有高反射性或高度透射性。在一个方面中，在长波长IR波长下具有高发射率、低反射率及低透射率的材料涂层被安置在计量或检验系统的一或多个光学元件的选定部分上方。材料涂层的位置在由所述计量或检验系统用于对样本执行测量的主要测量光的直接光学路径外部。以单个IR相机对IR透明光学元件的前后表面执行温度测量。通过主要测量光束的光学路径中的多个光学元件执行温度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 长波长 红外光 光学元件 温度测量 材料涂层 非接触式 光学路径 检验系统 计量 测量光学元件 透明光学元件 测量光束 低发射率 低反射率 高发射率 高反射性 光学器件 测量光 热测量 透射率 透射性 波长 样本 测量 安置 外部 | ||
【主权项】：
1.一种设备，其包括：/n第一光学元件，其被安置在基于光学的测量系统的一定量的主要测量光的光学路径中，其中所述一定量的主要测量光在所述第一光学元件的第一部分上入射在所述第一光学元件上，其中所述第一光学元件由在8微米到15微米范围内的长波长红外波长下具有低发射率的材料构成；/n在所述长波长红外波长下具有高发射率的第一量的材料，其在所述第一光学元件的与所述第一光学元件的第一部分分离的第二部分上安置在所述第一光学元件上；及/n红外相机系统，其经配置以利用具有在8微米到15微米范围内的波长的长波红外光来对所述第一光学元件执行基于IR的温度测量，其中所述第一光学元件的所述第二部分处于所述红外相机系统的视场中。/n
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