[发明专利]固态成像器件的制造方法及固态成像器件、以及彩色滤光片的制造方法及彩色滤光片

摘要

降低彩色滤光片中的混色而成为高精细。在配置有光电转换器件的半导体基板(10)的表面上形成第一彩色滤光片膜，在第一彩色滤光片膜的表面上形成感光性树脂掩模材料层之后，将在与第二以后的彩色滤光片的形成位置相对的感光性树脂掩模材料层的一部分处形成有开口部的感光性树脂掩模材料层作为蚀刻掩模，通过使用了干式蚀刻气体的干式蚀刻除去第一彩色滤光片膜的一部分，以形成第一彩色滤光片(14)。此时，将第一彩色滤光片用材料与干式蚀刻气体的反应产物形成为设置于各彩色滤光片间的隔壁(17)，从而形成第二以后的彩色滤光片(15、17)。

主权项

1.一种固态成像器件的制造方法，具备：第一彩色滤光片膜形成工序，其中，在二维地配置有多个光电转换器件的半导体基板的表面上，涂布由以树脂材料为主成分且分散有第一颜料的第一树脂分散液构成的第一彩色滤光片用材料并使其固化，从而形成成为包含所述第一颜料的第一彩色滤光片的前体的第一彩色滤光片膜；开口部形成工序，其中，在所述第一彩色滤光片膜的表面上涂布感光性树脂掩模材料以形成感光性树脂掩模材料层之后，在与包含跟所述第一颜料不同颜色的颜料的第二以后的彩色滤光片的形成位置相对的所述感光性树脂掩模材料层的一部分中，通过光刻形成开口部；第一彩色滤光片形成工序，其中，将形成有所述开口部的所述感光性树脂掩模材料层作为蚀刻掩模，通过使用了干式蚀刻气体的干式蚀刻，除去从所述开口部露出的所述第一彩色滤光片膜的一部分以形成所述第一彩色滤光片，并除去所述蚀刻掩模；隔壁形成工序，其中，将在所述第一彩色滤光片形成工序中对所述第一彩色滤光片膜进行干式蚀刻时形成的、所述第一彩色滤光片用材料与所述干式蚀刻气体的反应产物形成为设置于多个颜色的彩色滤光片彼此之间的隔壁；第二以后的彩色滤光片形成工序，其中，形成包含与所述第一彩色滤光片不同颜色的颜料的第二以后的彩色滤光片；以及，微透镜形成工序，其中，形成使入射光聚光于各个所述光电转换器件上的多个微透镜。