[发明专利]形成具有期望ζ电位的抛光制品的设备与方法有效
| 申请号： | 201680068254.4 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN108290267B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | A·乔卡里汉;M·C·奥里拉尔;M·山村;傅博诣;R·巴贾杰;D·莱德菲尔德 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/22;B24B37/26;B24D18/00;B29C64/10;B32B27/00;B32B3/10;B33Y80/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的实施方式大体而言涉及抛光制品及制造在抛光工艺和清洗工艺中使用的抛光制品的方法。更具体言之，本文公开的实施方式涉及具有分级性质的复合抛光制品。在一个实施方式中，提供一种抛光制品。该抛光制品包含一个或更多个暴露的第一区域以及一个或更多个第二暴露区域，该第一区域由第一材料形成并具有第一ζ电位，该第二暴露区域由第二材料形成并具有第二ζ电位，其中该第一ζ电位与该第二ζ电位不同。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 具有 期望 电位 抛光 制品 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光制品，包含：一个或更多个暴露的第一区域，由第一材料形成并具有第一ζ电位；以及一个或更多个第二暴露区域，由第二材料形成并具有第二ζ电位，其中所述第一ζ电位与所述第二ζ电位不同。
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