[发明专利]气体传感器装置及气体传感器装置的加热电流控制方法

摘要

本发明提供即使是环境温度发生变化，也能够实现高精度测量的气体传感器装置。该装置具备形成于薄膜部的检测加热器(3)、围绕检测加热器形成的温度补偿加热器(4)、控制检测加热器(3)的加热温度的检测加热器加热控制电路(10)、以及将温度补偿加热器的加热温度控制于比检测加热器的加热温度低的加热温度的温度补偿加热器加热控制电路(11)，相应于基板温度的上升，检测加热器加热控制电路(10)与温度补偿加热器加热控制电路(11)分别调整各加热电流，使检测加热器(3)的加热温度与温度补偿加热器(4)的加热温度之间的温度差缩小。

主权项

1.一种气体传感器装置，具备：形成于基板的一部分的薄膜部；形成于所述薄膜部的检测加热器；以围绕所述检测加热器的方式在所述薄膜部形成的温度补偿加热器；对所述检测加热器的加热温度进行控制的检测加热器加热控制电路；以及将所述温度补偿加热器的加热温度控制为比所述检测加热器的加热温度低的加热温度的温度补偿加热器加热控制电路，所述气体传感器装置根据所述检测加热器的散热量来测量气体的物理量，所述气体传感器装置的特征在于，所述检测加热器加热控制电路和所述温度补偿加热器加热控制电路与所述基板的温度上升相对应地控制各加热电流，以使所述检测加热器的加热温度与所述温度补偿加热器的加热温度之间的温度差缩小。