[发明专利]检查辅具、基板检查装置以及基板检查方法

摘要

本发明提供一种即使基板伸缩也容易准确地执行基板检查的检查辅具、基板检查装置以及基板检查方法。检查辅具包括板状的固定板(31)和安装于固定板并配置有探针的第一及第二相对部件(30a、30b)，在固定板形成有用于贯穿插入定位销(36)的多个固定侧定位孔(211、217)，在第二相对部件形成有分别与多个固定侧定位孔对应而成对的移动侧定位孔(221、227)，在向固定侧定位孔和移动侧定位孔中插入定位销而将固定板和第二相对部件定位的状态下，固定侧定位孔与移动侧定位孔形成位于沿着X轴方向偏移的位置处的对。

主权项

1.一种检查辅具，其安装于检查作为检查对象的被检查基板的检查装置主体，用于使探针分别与设置于所述被检查基板的多个检查点接触，所述检查辅具包括：板状的固定板，其具有第一面和第二面；以及第一相对部件及第二相对部件，该第一相对部件及第二相对部件安装于所述固定板，所述第一相对部件以与所述被检查基板的一部分的第一区域中设置的检查点的配置对应的方式配置所述探针，并且具有：第一相对面，其用于与所述第一区域相对配置；以及第一安装面，其安装于所述固定板的所述第二面，所述第二相对部件以与所述被检查基板的不同于所述第一区域的第二区域中设置的检查点的配置对应的方式配置所述探针，并且具有：第二相对面，其用于与所述第二区域相对配置；以及第二安装面，其安装于所述固定板的所述第二面，所述固定板的所述第一面为用于安装于所述检查装置主体的面，在所述固定板中的所述第二相对部件安装于所述第二面的区域内形成有垂直地贯通所述固定板的多个固定侧定位孔，该多个固定侧定位孔用于贯穿插入用于定位的定位销，在所述第二相对部件上形成有定位用的移动侧定位孔，从而所述固定侧定位孔与所述移动侧定位孔构成多个对，其中，所述移动侧定位孔与所述多个固定侧定位孔分别对应而成对，并且能够接受所述定位销的末端侧，所述多个对包括如下的对：在向所述多个对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中的至少一对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入所述定位销而将所述固定板和所述第二相对部件定位的状态下，所述固定侧定位孔与所述移动侧定位孔位于沿着规定的第一方向偏移的位置处。