[发明专利]氮化钛铝硬质皮膜、硬质皮膜包覆工具及它们的制造方法有效
申请号: | 201680069174.0 | 申请日: | 2016-11-18 |
公开(公告)号: | CN108291300B | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 福永有三;今井真之 | 申请(专利权)人: | 三菱日立工具株式会社 |
主分类号: | C23C16/34 | 分类号: | C23C16/34;B23B27/14;B23C5/16;C23C16/455 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 康泉;王珍仙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
一种形成于基体上的具有柱状晶体组织的氮化钛铝层,其具有fcc结构的含有高Al的TiAlN及fcc结构的网状的含有高Ti的TiAlN,所述含有高Al的TiAlN具有由(Tix |
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搜索关键词: | 氮化 硬质 皮膜 工具 它们 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种氮化钛铝硬质皮膜,其特征在于,其具有柱状晶体组织,并且具有fcc结构的含有高Al的TiAlN及fcc结构的网状的含有高Ti的TiAlN,所述含有高Al的TiAlN具有由(Tix1,Aly1)N表示的组成,其中x1和y1是分别满足按原子比计x1=0.005~0.1及y1=0.995~0.9的数字;所述含有高Ti的TiAlN具有由(Tix2,Aly2)N表示的组成,其中x2和y2是分别满足按原子比计x2=0.5~0.9且y2=0.5~0.1的数字,并且所述含有高Al的TiAlN被所述网状的含有高Ti的TiAlN所围绕。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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