[发明专利]包括轴向构造的三维半导体结构的光电子器件有效

专利信息
申请号: 201680069412.8 申请日: 2016-11-28
公开(公告)号: CN108713258B 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 张欣;布鲁诺-朱尔斯·多丹;布鲁诺·盖拉尔;菲利普·吉莱 申请(专利权)人: 原子能和替代能源委员会;艾利迪公司
主分类号: H01L33/18 分类号: H01L33/18;H01L33/08;H01L33/00;H01L33/32
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 谢攀;刘继富
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种包括至少一个三维半导体结构(2)的光电子器件(1),该至少一个三维半导体结构(2)沿与其所在的衬底(3)的平面基本正交的纵向轴线(Δ)延伸,并且包括:从衬底(3)的一个表面沿纵向轴线(Δ)延伸的第一掺杂部分(10);包括钝化层(34)和由所述钝化层(34)侧向覆盖的至少一个量子阱(32)的有源部分(30),有源部分(30)的量子阱(32)具有大于第一掺杂部分(10)的平均直径的平均直径,所述有源部分(30)从第一掺杂部分(10)沿纵向轴线(Δ)延伸;以及从有源部分(30)沿纵向轴线(Δ)延伸的第二掺杂部分(20)。本发明的特征在于,该器件包括基本相互平行延伸的多个三维半导体结构(2),多个三维半导体结构(2)的有源部分(30)相互接触。
搜索关键词: 包括 轴向 构造 三维 半导体 结构 光电子 器件
【主权项】:
1.一种光电子器件(1),包括至少一个三维半导体结构(2),所述至少一个三维半导体结构(2)沿与其所在的衬底(3)的平面基本正交的纵向轴线(Δ)延伸并且包括:‑从所述衬底(3)的表面沿所述纵向轴线(Δ)延伸的第一掺杂部分(10);‑包括至少一个量子阱(32)并且从所述第一掺杂部分(10)沿所述纵向轴线(Δ)延伸的有源部分(30);‑从所述有源部分(30)沿所述纵向轴线(Δ)延伸的第二掺杂部分(20);其特征在于,‑所述有源部分(30)的量子阱(32)具有大于所述第一掺杂部分(10)的平均直径的平均直径,并且由钝化层(34)侧向地覆盖;‑所述光电子器件(1)包括基本相互平行延伸的多个三维半导体结构(2),所述多个三维半导体结构的有源部分(30)相互接触。
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