[发明专利]多轴共振加速度计有效
| 申请号： | 201680069861.2 | 申请日： | 2016-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN108450009B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 张欣;M·W·朱蒂;M·莫迪 | 申请（专利权）人： | 美国亚德诺半导体公司 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;G01P15/18 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘倜 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 多轴共振加速度计基于检测一个或多个静电驱动谐振器质量块在加速度下由于静电间隙变化而引起的共振频率变化。具体而言，一个或多个谐振器质量块被配置成在与不同灵敏度轴(例如，X、Y和/或Z轴)相关联的不同方向上同时共振。通过一个或多个静电耦合感测电极监测每个谐振器质量块的运动。沿着特定的灵敏度轴的加速度引起相应的谐振器质量块和与该灵敏度轴相关的感测电极之间的静电间隙的微小变化，并且这种静电间隙的变化表现为谐振器谐振频率的微小变化，从中可以产生加速度计输出信号。 | ||
| 搜索关键词： | 共振 加速度计 | ||
【主权项】：
1.多轴共振加速度计，包括：谐振器，包括配置在器件平面中的至少一个谐振器质量块；一组x轴驱动电极，被配置用于驱动所述器件平面中的至少一个谐振器质量块的x轴运动；一组y轴驱动电极，被配置用于驱动所述器件平面中的至少一个谐振器质量块的y轴运动；一组x轴感测电极，被配置用于基于在x轴加速度存在的情况下的静电弹簧调谐来感测所述至少一个谐振器质量块的x轴谐振频率的变化；和一组y轴感测电极，被配置为基于在y轴加速度存在的情况下的静电弹簧调谐来感测所述至少一个谐振器质量块的y轴谐振频率的变化。
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