[发明专利]检测太阳能晶片上的豁口的方法和系统有效
| 申请号： | 201680070827.7 | 申请日： | 2016-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN108604880B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 韩白权 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H02S50/10 | 分类号： | H02S50/10;G01N21/95;G01N21/88;G01N21/892 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于检测太阳能晶片的倒角边缘处的豁口缺陷的豁口缺陷检测系统，所述太阳能晶片是具有笔直边缘和倒角边缘的实质上矩形或方形的形状，所述豁口缺陷检测系统包括：(a)多个成像装置，所述多个成像装置用于拾取所述太阳能晶片的位置的图像并且水平地定位成使得所述成像装置的聚焦平面平行于所述太阳能晶片的倒角边缘；(b)多个照明装置，所述多个照明装置用于当所述成像装置在操作中时为所述成像装置提供光；(c)传送带，所述传送带用于在豁口检测操作过程中水平地运输所述太阳能晶片；(d)感测装置，所述感测装置提供信号以触发所述成像装置来开始图像捕获；和(e)频闪灯驱动器，所述频闪灯驱动器由所述成像装置触发以驱动所述照明装置，使得所述成像装置提供与所述照明装置一致的曝光时间，由此所述倒角边缘位于处在正由所述感测装置感测的相同位置处的失焦位置处，并且由所述成像装置捕获的图像不清晰是在所述太阳能晶片的所述倒角边缘上有豁口。本发明还披露了一种检测太阳能晶片上的豁口缺陷的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 太阳能 晶片 豁口 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测太阳能晶片的倒角边缘处的豁口缺陷的豁口缺陷检测系统，所述太阳能晶片是具有笔直边缘和倒角边缘的实质上矩形或方形的形状，所述豁口缺陷检测系统包括：(a)多个成像装置，所述多个成像装置用于拾取所述太阳能晶片的位置的图像并且与所述太阳能晶片的聚焦平面水平地定位；(b)多个照明装置，所述多个照明装置用于当所述成像装置在操作中时为所述成像装置提供光；(c)传送带，所述传送带用于在豁口检测操作过程中水平地运输所述太阳能晶片；(d)感测装置，所述感测装置提供信号以触发所述成像装置来开始图像捕获；和(e)频闪灯驱动器，所述频闪灯驱动器由所述成像装置触发以驱动所述照明装置，使得所述成像装置提供与所述照明装置一致的曝光时间，由此所述倒角边缘位于处在正由所述感测装置感测的相同位置处的失焦位置处，并且由所述成像装置捕获的图像不清晰是在所述太阳能晶片的所述倒角边缘上有豁口。
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