[发明专利]用于真空腔室的闭合或锁定装置有效
| 申请号： | 201680072581.7 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN108700222B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | U·奥尔登多夫;C·克莱森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16K51/02 | 分类号： | F16K51/02;F16K31/06;F16K31/08;F16K3/18;F16K37/00;F16K1/20;F16K1/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种用于真空腔室(12)的闭合装置或锁定装置，所述闭合装置或锁定装置包括：护板(16)，所述护板能够布置在真空腔室(12)上并且包围真空腔室(12)的开口(14)；框架(15)，框架(15)以框架(15)可相对于护板(16)移动的方式而被支撑，并且闭合盖件(18)可移动地布置在框架(15)上，其中闭合盖件(18)在闭合位置(28)处抵靠护板(16)以密封的方式闭合开口(14)；至少一个磁体装置(30)，至少一个磁体装置(30)用于产生在护板(16)与闭合盖件(18)之间起作用的闭合力(C)，磁体装置(30)与护板(16)和闭合盖件(18)接合。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 空腔 闭合 锁定 装置 | ||
【主权项】：
1.用于真空腔室(12)的闭合装置或锁定装置，包括：‑护板(16)，所述护板能够布置在真空腔室(12)上并且包围所述真空腔室(12)的开口(14)；‑框架(15)，所述框架(15)以所述框架(15)可相对于所述护板(16)移动的方式而被支撑，并且闭合盖件(18)可移动地布置在所述框架(15)上，其中所述闭合盖件(18)在闭合位置(28)处抵靠所述护板(16)以密封的方式闭合所述开口(14)；‑至少一个磁体装置(30)，所述至少一个磁体装置(30)用于产生在所述护板(16)与所述闭合盖件(18)之间器作用的闭合力(C)，所述磁体装置(30)与所述护板(16)和所述闭合盖件(18)接合。
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