[发明专利]层叠体有效
申请号: | 201680075286.7 | 申请日: | 2016-12-26 |
公开(公告)号: | CN108475702B | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 上冈义弘;关谷隆司;笘井重和;川岛绘美;霍间勇辉;竹岛基浩 | 申请(专利权)人: | 出光兴产株式会社 |
主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872;H01L21/28;H01L29/47 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王铭浩 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种层叠体,其中,依次具有基板、选自接触电阻降低层和还原抑制层中的1层以上的层、肖特基电极层和金属氧化物半导体层。 | ||
搜索关键词: | 层叠 | ||
【主权项】:
1.一种层叠体,其中,依次具有基板、选自接触电阻降低层和还原抑制层中的1层以上的层、肖特基电极层和金属氧化物半导体层。
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