[发明专利]过滤装置

摘要

过滤装置(10)包括具有第一输送机(20)的一次输送槽(11)、在一次输送槽(11)内旋转的一次鼓过滤器(30)、具有第二输送机(50)的二次输送槽(40)、以及在二次输送槽(40)内旋转的二次鼓过滤器(60)。一次输送槽(11)内的液体(Q1)通过第一开口(41)流入二次输送槽(40)内。流入到第一清洁槽(80)内的洁净液体(Q2)由第一泵(85)供应到低压侧供应系统(2)。由二次鼓过滤器(60)过滤了的超洁净液体(Q3)通过第二开口(91)流入第二清洁槽(90)内，并由第二泵(95)供应到高压侧供应系统(3)。

主权项

1.一种过滤装置，其特征在于，包括：一次输送槽(11)，其具有第一输送机(20)，并且被供应待过滤液体(Q1)；一次鼓过滤器(30)，其配置在所述一次输送槽(11)的液体中，通过所述第一输送机(20)的链条(21、22)来旋转，并且具有用于过滤所述一次输送槽(11)内的液体(Q1)的一次流通孔(35)；二次输送槽(40)，其配置成邻近所述一次输送槽(11)，并且具有第二输送机(50)，通过在与所述一次输送槽(11)之间形成的第一开口(41)与所述一次鼓过滤器(30)的内部连通，并且流入由所述一次鼓过滤器(30)过滤了的洁净液体(Q2)；二次鼓过滤器(60)，其配置在所述二次输送槽(40)的洁净液体(Q2)中，通过所述第二输送机(50)的链条(51、52)来旋转，并且具有用于进一步过滤所述二次输送槽(40)内的洁净液体(Q2)的二次流通孔(65)；驱动部(70)，其用于驱动所述第一输送机(20)和所述第二输送机(50)；第一清洁槽(80)，其与所述二次输送槽(40)连通，并且流入所述二次输送槽(40)内的所述洁净液体(Q2)；第一泵(85)，其用于将所述第一清洁槽(80)内的所述洁净液体(Q2)供应到第一液体使用部(1a)；第二清洁槽(90)，其配置成邻近所述二次输送槽(40)，通过在与所述二次输送槽(40)之间形成的第二开口(91)与所述二次鼓过滤器(60)的内部连通，并且流入由所述二次鼓过滤器(60)过滤了的超洁净液体(Q3)；以及第二泵(95)，其将所述第二清洁槽(90)内的所述超洁净液体(Q3)供应到第二液体使用部(1b)。