[发明专利]感光化射线性或感放射线性树脂组合物及其膜、图案形成方法及电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 201680076122.6 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN108431690B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 富贺敬充;原田宪一;杉山真一;吉野文博;平野修史 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王永红 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜及图案形成方法、以及使用了这些的电子器件的制造方法，本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：玻璃化转变温度为155℃以上的树脂(A)；玻璃化转变温度为150℃以下的化合物(B)；及溶剂(C)，其中，上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物中的固体成分含量为20质量％以上，由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的抗蚀剂图案的软化点为130℃以上且170℃以下，当由感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成例如具有1μm以上的厚度的厚膜抗蚀剂膜形成图案时，能够高层次地兼备优异的分辨率和优异的曝光宽容度，并且抑制蚀刻时可产生的抗蚀剂图案的侧壁上的粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 射线 放射 线性 树脂 组合 及其 图案 形成 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其含有：玻璃化转变温度为155℃以上的树脂(A)；玻璃化转变温度为150℃以下的化合物(B)；及溶剂(C)，其中，所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物中的固体成分含量为20质量％以上，由所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的抗蚀剂图案的软化点为130℃以上且170℃以下。
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