[发明专利]薄的聚对二甲苯的可靠沉积有效
| 申请号： | 201680076264.2 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN108431151B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 戴聿昌;王玮;康冬阳 | 申请（专利权）人： | 加州理工学院 |
| 主分类号： | C09D165/04 | 分类号： | C09D165/04;B05D1/02;B05D3/12 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;杨明钊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了沉积薄的聚对二甲苯和超薄的聚对二甲苯的设备、系统和方法。在实例中，使用芯沉积室。芯沉积室包括底座和刚性的、可移除的盖，所述盖被配置成与底座配合并密封以形成芯沉积室并限定芯沉积室的内部和外部。芯沉积室还包括穿过盖的顶部的导管。导管具有将芯沉积室的内部与外部连接的管腔。管腔具有长度和横截面。横截面具有在50μm和6000μm之间的宽度。长度小于横截面宽度的140倍。芯沉积室可以被放置在外部沉积室中，并且可以在芯沉积室内实现小于1μm厚的聚对二甲苯沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 二甲苯 可靠 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种聚对二甲苯沉积计量设备，包括：底座；刚性的、可移除的盖，所述盖被配置成与所述底座配合并密封以形成封闭的芯沉积室并限定所述芯沉积室的内部和外部，所述底座和所述盖被配置成承受至少1.0Pa的相对于所述外部的内部真空压力；以及导管，所述导管穿过所述盖的顶部并接近所述盖的所述顶部的中心，所述导管具有连接所述芯沉积室的所述内部和所述外部的管腔，所述管腔具有长度和横截面，所述横截面具有在50μm和6000μm之间的宽度，所述长度小于所述横截面宽度的140倍。
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