[发明专利]真空涂覆工艺中的盖板玻璃基材的静电夹持在审
| 申请号： | 201680077260.6 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108474111A | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | D·R·鲍顿;J·G·法根 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L21/683;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 项丹 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于在真空涂覆室中涂覆移动装置的2D或3D盖板玻璃的静电夹持设备和方法，所述真空涂覆室具有转鼓并且该转鼓被驱动旋转。所述设备包括载体，所述载体包括可拆卸式地安装于转鼓的液体冷却式冷板。在3D盖板玻璃的情况中，所述载体包括具有3D轮廓的部分，该3D轮廓与3D盖板玻璃的3D轮廓匹配。所述载体还包括静电卡盘(ESC)，由于ESC形成了足够的夹紧力以将盖板玻璃可靠地固定在适当位置，因此该静电卡盘适于在面对由转鼓旋转引起的离心力时，相对于载体而将盖板玻璃固定在位。 | ||
| 搜索关键词： | 盖板玻璃 转鼓 真空涂覆 静电卡盘 静电夹 液体冷却式 可拆卸式 驱动旋转 适当位置 移动装置 夹紧力 基材 冷板 涂覆 匹配 在位 | ||
【主权项】：
1.一种夹持设备，其用于在真空涂覆室中涂覆移动装置的3D盖板玻璃，所述真空涂覆室具有转鼓并且所述转鼓被驱动旋转，所述设备包括：载体，所述载体包括液体冷却式冷板并且其能够拆卸式地安装于转鼓；所述载体包括具有3D轮廓的部分，所述3D轮廓与3D盖板玻璃的3D轮廓匹配；以及所述载体还包括静电卡盘(ESC)，由于ESC形成了足够的夹紧力以将盖板玻璃可靠地固定在位，因此所述静电卡盘适于在面对由转鼓以超过100rpm旋转引起的离心力时，相对于载体的3D轮廓而将3D盖板玻璃固定在位。
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