[发明专利]MEMS致动器组结构有效
| 申请号： | 201680078018.0 | 申请日： | 2016-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN108602663B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 刘晓磊;王桂芹;马修·恩格 | 申请（专利权）人： | 麦斯卓微电子（南京）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G03B5/02;G03B5/04;G02B27/64;G02B26/08;G03B30/00 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 王冬;马晓田 |
| 地址： | 211806 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一个以六个自由度移动平台的封装。该平台可以包括安装在其上的光电子装置。封装包括可以是MEMS致动器的平面内致动器和可以由压电元件形成的平面外致动器。平面内MEMS致动器可以安装在平面外致动器上，平面外致动器安装在PCB中的凹陷中。平面内MEMS致动器包括多个梳状结构，其中相对的梳状物的指状物彼此重叠，即延伸经过彼此的端部。平面外致动器包括中心部分和连接到中心部分的多个环绕台。平面内MEMS致动器联接到Z平面外驱动器，以向有效负载提供三个自由度，该有效负载可以是包括在封装中的光电子装置。 | ||
| 搜索关键词： | mems 致动器组 结构 | ||
【主权项】：
1.一种用于沿多个方向致动光电子装置的致动器组件，所述致动器组件包括：封装，包括电路板、平面内微机电系统MEMS致动器、平面外致动器和光电子装置，所述光电子装置通过多个导电挠曲件导电联接到所述平面内MEMS致动器的组件；以及所述平面外致动器导电联接到所述平面内MEMS致动器和所述电路板中的至少一个，其中，所述平面内MEMS致动器能够提供沿着平面的致动，并且所述平面外致动器能够至少沿着除所述平面以外的方向提供致动，并且所述电路板是印刷电路板PCB和陶瓷板。
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