[发明专利]电容式MEMS麦克风及电子装置有效
| 申请号： | 201680078252.3 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN108702576B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 杨国权;马佑平 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电容式MEMS麦克风(20,30,43)及电子装置。该电容式MEMS麦克风(20,30,43)包括：振膜(21,31)；和基板(24,34)，其中在所述振膜(21,31)与基板(24,34)之间形成腔体(23,33)，该腔体(23,33)以弹性体被填充。在电容式MEMS麦克风中采用弹性体取代空气间隙，从而提高麦克风的信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 mems 麦克风 电子 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电容式MEMS麦克风，包括：振膜；以及基板，其中，在所述振膜与基板之间形成腔体，所述腔体以弹性体被填充。
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