[发明专利]流体微机电系统有效
| 申请号： | 201680079441.2 | 申请日： | 2016-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN108698044B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | E·L·尼克尔 | 申请（专利权）人： | 惠普发展公司;有限责任合伙企业 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;F16K15/03;F16K99/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马蔚钧;杨思捷 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 示例性流体微机电系统可以包括衬底和由衬底支承的第一层。该第一层形成腔室的侧壁、穿过侧壁之一的通道、和腔室、以及止回阀叶片。该止回阀叶片可以围绕不与衬底平行的轴枢转以打开和关闭通道。该系统可以进一步包括在腔室之上的第二层、通入腔室的开口以及支承在腔室内的电阻器。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 微机 系统 | ||
【主权项】：
1.流体微机电系统，其包括：衬底；由所述衬底支承的第一层，所述第一层形成：腔室的侧壁；穿过所述侧壁之一的通道，和腔室；以及止回阀叶片，所述止回阀叶片可以围绕不与所述衬底平行的轴枢转以打开和关闭所述通道；在所述腔室之上的第二层；通入所述腔室的开口；和支承在所述腔室内的电阻器。
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