[发明专利]用于光刻设备的液滴发生器、EUV源和光刻设备有效
| 申请号： | 201680079694.X | 申请日： | 2016-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108496115B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | J·F·迪杰克斯曼;B·L·W·M·范德文;K·G·温克尔斯;T·W·德赖森;G·O·瓦申科;P·M·鲍姆加特;W·H·T·M·安格南特;J·O·纽文坎普;W·R·坎平加;J·劳特萨莱南 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;崔卿虎 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 液滴发生器，诸如在EUV辐射源中使用，以及相关的EUV辐射源和光刻设备。液滴发生器可以包括用于发射燃料作为液滴的喷嘴组件，喷嘴组件处于与液滴发生器内的燃料压力基本上相同的压力下的加压环境内。液滴发生器可以包括致动器，致动器与泵室接触并且借助于偏置机构抵靠泵室被偏置，偏置机构具有抵靠致动器被偏置的致动器支撑件。致动器作用于泵室内的燃料以产生液滴。致动器支撑件具有与其周围结构相比具有更大的热膨胀系数的材料，使得其在环境温度下在周围结构内可移动，但是在操作温度下抵靠周围结构膨胀，以便在操作温度下将致动器支撑件抵靠周围结构夹紧。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 设备 发生器 euv | ||
【主权项】：
1.一种用于光刻系统的液滴发生器，所述液滴发生器可操作为接收以燃料压力被加压的燃料，所述液滴发生器包括可操作为以液滴形式发射所述燃料的喷嘴组件，其中所述喷嘴组件处于或基本上处于加压环境内，所述加压环境基本上以与所述燃料压力相同的压力被加压。
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