[发明专利]用于扫描探针显微术的金属装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201680080587.9 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109073675B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | T·德劳伦克依瓦斯康塞罗斯;B·桑托斯德奥利维拉;C·阿尔伯托阿切特;B·索雷斯阿切乔;A·胡里奥德瓦斯康塞罗斯;L·G·德奥利维拉洛佩茨坎卡多;W·努内斯罗德里格斯;C·阿兰德斯达斯尔瓦威特斯泰因;R·瓦拉斯基;C·拉贝洛伊斯尔瓦 | 申请（专利权）人： | 米纳斯吉拉斯联合大学;国家计量;质量和技术学院-INMETRO |
| 主分类号： | G01Q70/16 | 分类号： | G01Q70/16;G01Q60/38;G01R1/067 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 王海宁 |
| 地址： | 巴西米纳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于扫描探针显微术的装置及其制造方法。该金属装置包括具有两个部分(2)和(3)的单独体(1)，其中第二部分(3)具有限定出纳米级顶端(7)的亚微米点(4)。本发明还提供了一种制造用于扫描探针显微术的高光学效率探针的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 扫描 探针 显微 金属 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种扫描探针显微术装置，其特征在于，其包括单独体(1)，所述单独体设置成第一部分(2)和第二部分(3)，该第二部分包括具有纳米顶端(7)的亚微米尖端(4)。
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