[发明专利]三维表面电位分布测量装置

摘要

一种测量测定对象的表面电位的三维表面电位分布测量系统(100)，具有：激光光源；普克尔斯晶体，具有折射率根据第1端面与第2端面之间的电位差的变化而变化的普克尔斯效应；镜，被设置成与第2端面接触；光检测器，检测与普克尔斯晶体的电位差对应的激光光束的光强度；框体(31)，保持以上部件；三维移动驱动装置(30)，能够三维地对框体(31)进行移动驱动；以及驱动控制部(50)，控制三维移动驱动装置(30)。

主权项

1.一种三维表面电位分布测量系统，对测定对象的表面电位进行测量，其特征在于，该三维表面电位分布测量系统具有：激光光源，出射激光光束；普克尔斯晶体，具有第1端面及第2端面，并具有折射率根据所述第1端面与所述第2端面之间的电位差的变化而变化的普克尔斯效应，并且配置成使所述第1端面面向供从所述激光光源出射的所述激光光束入射的一侧，使所述第2端面面向所述测定对象侧，该普克尔斯晶体沿着所述激光光束的传播方向在长度方向上延伸；镜，设于所述第2端面，使从所述普克尔斯晶体的所述第1端面入射的所述激光光束向与所述入射的方向相反的方向反射；光检测器，具有跟随逆变器脉冲电压的高频分量的频带，接受通过所述镜被反射的所述激光光束，检测与所述普克尔斯晶体的所述第1端面和所述第2端面之间的电位差对应的所述激光光束的光强度；框体，一面维持所述激光光源、所述普克尔斯晶体、所述镜和所述光检测器相互间的相对位置关系，一面保持所述激光光源、所述普克尔斯晶体、所述镜和所述光检测器；三维移动驱动装置，能够三维地对所述框体进行移动驱动；以及驱动控制部，控制所述三维移动驱动装置。