[发明专利]控制由具有压电特性的材料形成的器件中的阈值电压的齿状栅极有效
| 申请号： | 201680081924.6 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108701712B | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | H·Y·黄;N·德阿尔梅达布拉加;R·米克维科厄斯 | 申请（专利权）人： | 美商新思科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/423;G06F30/38;G06F30/39;G06F30/392;H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张昊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 粗略地描述，场效应晶体管具有支持沟道的第一压电层、位于第一压电层之上的第二压电层、具有由多个间隙分隔的多个介电片段的介电层以及具有主体和多个齿的栅极，介电层位于第二压电层之上。栅极的主体覆盖多个介电片段中的至少一个介电片段和多个间隙中的至少两个间隙。多个齿具有连接至栅极的主体的近端、通过多个间隙突出的中间部分以及通过至少第二压电层与第一压电层分隔的远端。介电层施加应力，在第一压电层中创建压电电荷，改变晶体管的阈值电压。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 具有 压电 特性 材料 形成 器件 中的 阈值 电压 齿状 栅极 | ||
【主权项】：
1.一种场效应晶体管，包括：第一压电层，支持沟道；第二压电层，位于所述第一压电层之上；介电层，具有由多个间隙分隔的多个介电片段，所述介电层位于所述第二压电层之上；以及栅极，具有主体和多个齿，所述栅极的所述主体覆盖所述多个介电片段中的至少一个介电片段并且覆盖所述多个间隙中的至少两个间隙，所述多个齿具有连接至所述栅极的所述主体的近端、穿过所述多个间隙突出的中间部分和通过至少所述第二压电层与所述第一压电层分隔的远端。
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