[发明专利]提取和加速离子的空心阴极离子源及方法

摘要

提供一种提取和加速离子的离子源和方法。离子源包括腔室。离子源进一步包括第一空心阴极，其具有第一空心阴极腔和第一等离子体出口孔；以及第二空心阴极，其具有第二空心阴极腔和第二等离子体出口孔。第一空心阴极和第二空心阴极邻近地设置在腔室中。离子源进一步包括第一离子加速器，其在第一等离子体出口孔与腔室之间并与第一等离子体出口孔和腔室连通。第一离子加速器形成第一离子加速腔。离子源进一步包括第二离子加速器，其在第二等离子体出口孔与腔室之间并与第二等离子体出口孔和腔室连通。第二离子加速器形成第二离子加速腔。第一空心阴极和第二空心阴极被配置为交替地充当电极和反电极以生成等离子体。

主权项

1.一种离子源，包括：腔室；第一空心阴极，其具有第一空心阴极腔和第一等离子体出口孔；以及第二空心阴极，其具有第二空心阴极腔和第二等离子体出口孔，所述第一空心阴极和所述第二空心阴极邻近地设置在所述腔室中；第一离子加速器，其在所述第一等离子体出口孔与所述腔室之间并与所述第一等离子体出口孔和所述腔室连通，其中，所述第一离子加速器形成第一离子加速腔；以及第二离子加速器，其在所述第二等离子体孔与所述腔室之间并与所述第二等离子体孔和所述腔室连通，其中，所述第二离子加速器形成第二离子加速腔；其中，所述第一空心阴极和所述第二空心阴极被配置为交替地充当电极和反电极以生成等离子体，并且其中，所述第一离子加速腔和所述第二离子加速腔中的每个足以使得能够提取和加速离子。