[发明专利]应力隔离的绝对压力传感器有效
| 申请号： | 201680082401.3 | 申请日： | 2016-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN108700482B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | S-H.S.陈;J-H.A.邱;R.C.科斯伯格;D.R.恩彭 | 申请（专利权）人： | 大陆汽车系统公司 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00;G01L19/02;G01L19/04;G01L19/14;G01L9/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李晨;傅永霄 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使用弹簧式波纹状物或蛇形锯齿状物将微机电系统（MEMS）压力感测元件悬挂在空腔内，这减小了所述感测元件上的热失配机械应力。用凝胶覆盖弹簧式结构和感测元件进一步减小了热失配应力和振动动态应力。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 隔离 绝对 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种应力隔离压力传感器，包括：空腔，其以边沿来界定；微机电系统（MEMS）压力感测元件，其被构造成悬挂在所述空腔内；多个悬挂器，其在所述边沿与所述MEMS压力感测元件之间延伸并将所述MEMS压力感测元件支撑在所述空腔中，所述悬挂器是柔性的并且被掺杂成是导电的。
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