[发明专利]压力检测装置有效

专利信息
申请号: 201680082741.6 申请日: 2016-12-07
公开(公告)号: CN108885149B 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: 渡津裕次;柴田洋介 申请(专利权)人: 日写株式会社
主分类号: G01L5/165 分类号: G01L5/165;G01L1/14;G01L5/00
代理公司: 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 代理人: 刘春成;吴芳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种压力检测装置,其能够针对输入面高精度地一起检测垂直方向的应力和剪切应力。第一电极图案(Ty)和第二电极图案(Tx)在多个第三电极(Rx)中的在Y方向上相邻的第三电极(Rx)彼此之间延伸,从而在俯视图中仅与相邻的第三电极(Rx)的各自的一部分重叠。微型控制器(25)能够检测在上述部分产生的静电容量。在施加压力而使第二绝缘体(13)变形时,微型控制器(25)基于通过在俯视图中彼此重叠的第三电极(Rx)与第一电极(Ty)或第二电极(Tx)的重叠面积变化而得到的静电容量变化,计算剪切力。
搜索关键词: 压力 检测 装置
【主权项】:
1.一种压力检测装置,其特征在于,具备:从与输入压力的一侧相反的一侧依次排列层叠的支撑基板、刚性比所述支撑基板低且压力作用时发生弹性变形的第二绝缘体以及第一绝缘体;多个电极,所述多个电极以在所述第二绝缘体与所述支撑基板之间全面铺满的方式设置;多个第一带状电极,所述多个第一带状电极在所述第一绝缘体的与所述第二绝缘体相反的一侧沿第一方向延伸设置,并且在所述多个电极中的在与所述第一方向交叉的方向邻接的电极彼此之间延伸,从而在俯视图中仅与所述邻接的电极的各自的一部分重叠;多个第二带状电极,所述多个第二带状电极在所述第一绝缘体与所述第二绝缘体之间沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸设置,并且在所述多个电极中的在与所述第二方向交叉的方向邻接的电极彼此之间延伸,从而在俯视图中仅与所述邻接的电极的各自的一部分重叠;静电容量测量电路,所述静电容量测量电路能够检测在所述电极与在俯视图中与该电极重叠的第一带状电极之间产生的静电容量,并且能够检测在所述电极与在俯视图中与该电极重叠的第二带状电极之间产生的静电容量;以及压力计算电路,在施加压力而使所述第二绝缘体变形时,由于在俯视图中相互重叠的电极与第一带状电极的重叠面积和/或在俯视图中相互重叠的电极与第二带状电极的重叠面积发生变化,从而所述压力计算电路基于由所述静电容量测量电路得到的静电容量测量结果来计算剪切力。
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