[发明专利]用于受测试器件的模块化轨道系统、轨道系统、机构以及设备

摘要

本文中的系统、装置和方法可以提供多位点定位机构，该多位点定位机构适于在有或者没有受控环境的情况下跨一温度范围内对(一个或多个)受测试器件(DUT)(例如，半导体晶圆)进行长期测试。本文中的系统、装置和方法包括安装部件、机构和结构，这些安装部件、机构和结构可以提供极佳的机械稳定性，允许具有高分辨率的、相对较近工作距离的光学元件，使得在具有最小热扰动的受控环境中的高温下能够进行精密定位。本文中的系统、装置和方法可以具有模块化，例如，模块化以具有可以容易地添加或者移除且可以允许接入至密集堆积阵列中的探针模块的轨道和测试位点。

主权项

1.一种探针模块定位系统，用于观测和测试受测试器件(DUT)阵列，所述系统包括：支撑构件，包括：平行于DUT阵列的平面表面，以及平行于所述DUT阵列的Y方向的两个线性引导构件，所述两个线性引导构件在垂直于所述Y方向的X方向上分离以使所述DUT阵列被设置于其间；至少两个托架，其在Z方向上由所述支撑构件的所述平面表面支撑，所述Z方向垂直于所述X方向和所述Y方向，所述至少两个托架能够在所述Y方向上沿所述两个线性引导构件移动，并且被配置为在相对于所述Y方向的至少一个方向上限制沿所述两个线性引导构件的移动，并且限制垂直于所述两个线性引导构件的移动，其中，通过所述两个线性引导构件中的一个引导所述至少两个托架中的至少一个，使得所述至少两个托架中的至少一个被设置在所述DUT阵列的一侧上；至少一个轨道，其通过所述至少两个托架在各端部处支撑在所述DUT阵列上方，所述至少两个托架被设置在所述DUT阵列的相对侧上，使得所述轨道能够被定位为垂直于所述两个线性引导构件并且平行于所述X方向，所述至少两个托架控制所述轨道的端部在所述Y方向和所述Z方向上的位置，并且所述至少两个托架中的至少一个还控制所述轨道在所述X方向上的位置，并且所述至少两个托架中的至少一个控制所述轨道围绕所述轨道的纵向轴线的旋转；至少一个位点组件，其能够承载探针模块并且阻止在所述Y方向和所述Z方向中的至少一个方向上且围绕在所述轨道的至少一个方向上的X轴线、Y轴线和Z轴线移动，所述至少一个位点组件沿所述轨道定位，所述至少一个位点组件能够被限制沿所述轨道移动，所述位点组件包括至少一个精细定位平台，所述至少一个精细定位平台用于在所述X方向、所述Y方向或者所述Z方向上或者围绕所述X轴线、Y轴线或者Z轴线相对于所述位点组件定位所述探针模块；以及工具，其包括用于观察DUT的光学元件、控制器或者用于至少一个位点组件精确定位轴线的致动器，所述工具能够与所述位点组件对准，以致动所述位点组件中的至少一个精细定位平台。