[发明专利]层叠体、蚀刻掩模、层叠体的制造方法、蚀刻掩模的制造方法、及薄膜晶体管的制造方法

摘要

本发明的课题为：使用具备蚀刻掩模功能的含有脂肪族聚碳酸酯的膏状物或溶液来得到层叠体。本发明的技术手段为一种层叠体的制造方法，其包含下列步骤：图案形成步骤：在氧化物层44上、或在被氧化时成为氧化物层44的第2氧化物前驱体层上，形成第1氧化物前驱物层的图案80，所述第1氧化物前驱物层为如后所述的氧化物前驱体层：在含有包含脂肪族聚碳酸酯的粘结剂(可以含有不可避免的杂质)的溶液中分散有被氧化时成为金属氧化物的金属化合物；蚀刻步骤：在该图案形成步骤后，将未被图案80保护的氧化物层44或第2氧化物前驱体层进行蚀刻；加热步骤：在蚀刻步骤后，将氧化物层44或第2氧化物前驱体层、及第1氧化物前驱体层加热至所述粘结剂发生分解的温度以上。

主权项

1.一种层叠体，所述层叠体在氧化物层上、或被氧化时成为所述氧化物层的第2氧化物前驱体层上，配置有第1氧化物前驱体层的图案，所述第1氧化物前驱体层为如后所述的氧化物前驱体层：在含有包含脂肪族聚碳酸酯的粘结剂的溶液中分散有被氧化时成为金属氧化物的金属化合物，所述粘结剂可含有不可避免的杂质。