[发明专利]带电粒子束装置以及试样保持器

摘要

本发明为了提供能够容易搜索观察视场的试样保持器，设为该试验保持器具有：试样搭载部(137)，其具备形成有通过搭载具有对位用图案的试样支承部件(115)而对位的沉孔部的第一顶面以及用于使第一顶面水平地旋转的旋转轴；试样台部(141)，其具备试样搭载部能够上下活动的开口部以及开口部周边的第二顶面；以及试样盖部(140)，其具有导电性并且通过向试样台部的第二顶面的方向按压而使搭载于试样搭载部的试样支承部件的顶面与试样台部的第二顶面成为相同高度。

主权项

1.一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；试样保持器，其载置试样；带电粒子束光学系统，其将从上述带电粒子源释放的带电粒子作为带电粒子束照射到上述试样；检测器，其检测从上述试样释放的信号；以及控制部，其控制各结构要素，该带电粒子束装置的特征在于，上述试样保持器具有：试样搭载部，其具备形成有通过搭载试样支承部件而对位的沉孔部的第一顶面以及用于使上述第一顶面水平地旋转的旋转轴，上述试样支承部件具有用于解析中心标记、倍率和旋转角度的图案以及包括地址标记的对位用图案；试样台部，其具备上述试样搭载部能够上下活动的开口部以及上述开口部周边的第二顶面；以及试样盖部，其具有导电性，并且具有露出上述试样支承部件的上述对位用图案的窗，通过向上述试样台部的上述第二顶面的方向按压，使搭载于上述试样搭载部的上述试样支承部件的顶面与上述第二顶面成为相同高度。