[发明专利]激光装置

摘要

激光装置的控制部根据使用压力传感器计测出的气压，选择第1气体控制和第2气体控制中的一方，在第1气体控制中，向腔室的内部供给第1激光气体和第2激光气体中的至少一方，以使第1气体控制之后的腔室的内部的气压比第1气体控制之前的腔室的内部的气压增高，在第2气体控制中，至少向腔室的内部供给第1激光气体，并排放腔室的内部的一部分激光气体，使第2气体控制之前的腔室的内部的气压与第2气体控制之后的腔室的内部的气压的差小于第1气体控制之前的腔室的内部的气压与第1气体控制之后的腔室的内部的气压的差。

主权项

1.一种激光装置，其中，所述激光装置具有：腔室，其在内部配置有1对放电电极；气体供给装置，其向所述腔室的内部供给含有卤素气体的第1激光气体和卤素气体浓度比所述第1激光气体低的第2激光气体；排放装置，其排放所述腔室的内部的激光气体；压力传感器，其计测所述腔室的内部的气压；以及控制部，其根据使用所述压力传感器计测出的气压，选择第1气体控制和第2气体控制中的一方，其中，在所述第1气体控制中，向所述腔室的内部供给所述第1激光气体和所述第2激光气体中的至少一方，使所述第1气体控制之后的所述腔室的内部的气压比所述第1气体控制之前的所述腔室的内部的气压增高，在所述第2气体控制中，向所述腔室的内部至少供给所述第1激光气体，并排放所述腔室的内部的一部分激光气体，使所述第2气体控制之前的所述腔室的内部的气压与所述第2气体控制之后的所述腔室的内部的气压之差小于所述第1气体控制之前的所述腔室的内部的气压与所述第1气体控制之后的所述腔室的内部的气压之差。