[发明专利]带电粒子显微镜以及试样拍摄方法有效
| 申请号： | 201680084947.2 | 申请日： | 2016-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN109075002B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 庄子美南;津野夏规;大南祐介 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/16;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够在大气中观察二次电子图像的电子显微镜以及观察方法。更具体地，本发明的带电粒子显微镜具有从带电粒子光学镜筒(2)内部的真空空间分离载置试样的非真空空间的隔壁(31)、上部电极(35)、载置试样(100)的下部电极(5)、对上部电极和下部电极中的至少任一方施加电压的电源(21)、调整试样与所述隔壁的间隔的试样间隙调整机构(9)、以及基于在下部电极吸收到的电流来形成所述试样图像的图像形成部(15)。利用在上部电极与下部电极之间施加电压时产生的气体分子与电子的电离碰撞的放大效果，来选择性地测量二次电子。检测方式使用测量在下部电极流过的电流值的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 显微镜 以及 试样 拍摄 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子显微镜，其中，该带电粒子显微镜具有：带电粒子光学镜筒，其使带电粒子束聚焦并照射到试样；隔壁，其使载置所述试样的非真空空间与所述带电粒子光学镜筒内部的真空空间分离；上部电极；下部电极，其载置所述试样；电源，其对所述上部电极和所述下部电极中的至少任一方施加电压；试样间隙调整机构，其调整所述试样与所述隔壁的间隔；以及图像形成部，其基于在所述下部电极吸收到的电流来形成所述试样的图像。
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