[发明专利]导向装置和用于在卷材涂覆工艺中控制卷材温度的方法在审
| 申请号： | 201680086324.9 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN109219673A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 瓦莱里亚·梅特;托马斯·德皮施;约翰·M·怀特;斯蒂芬·海因;沃尔夫冈·布什贝克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;B65H23/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 描述一种辊装置(100)，所述辊装置用于导向卷材(200)并且用于在真空环境下的卷材涂覆工艺中控制与辊装置接触的卷材(200)的温度。辊装置包含辊装置(100)的曲面(101)，用于接触卷材(200)，其中曲面(101)包含卷材导向区域(103)。辊装置进一步包含在曲面(101)中的气体出口(104)的组和气体分配系统(105)，所述气体分配系统用于选择性地提供气流至气体出口(104)的第一子组和选择性地避免气体流至气体出口(104)的第二子组。辊装置进一步包含驱动单元(110)，用于旋转曲面(101)，其中曲面(101)适用于导引卷材(200)在曲面旋转时的移动。 | ||
| 搜索关键词： | 辊装置 卷材 气体出口 气体分配系统 卷材涂覆 子组 导向区域 导向装置 方法描述 驱动单元 旋转曲面 真空环境 气体流 导引 移动 | ||
【主权项】：
1.一种辊装置(100)，用于导向卷材(200)，并用于在真空环境下的卷材涂覆工艺中控制与所述辊装置接触的所述卷材(200)的温度，所述辊装置(100)包含：温度调整系统(130)，用于调整所述辊装置(100)的温度；辊装置(100)的曲面(101)，用于面对并接触所述卷材(200)，其中所述曲面(101)是绕着所述辊装置的轴(102)可旋转的，并且所述曲面(101)包含卷材导向区域(103)；气体出口(104)的组，设置于所述曲面(101)中并适用于释放气流；气体分配系统(105)，用于选择性地提供所述气流至所述气体出口(104)的第一子组，并选择性地避免气体流动至所述气体出口(104)的第二子组；其中，所述气体出口的所述第一子组由在所述卷材导向区域(103)中的至少一个气体出口组成，并且所述气体出口的所述第二子组由在所述卷材导向区域(103)之外的至少一个气体出口组成；和驱动单元(110)，用于旋转所述曲面(101)，其中所述曲面(101)在旋转时适于引导所述卷材(200)的移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680086324.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
