[发明专利]基板保持装置在审
| 申请号： | 201680086344.6 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN109313867A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 米泽信宏 | 申请（专利权）人： | 堺显示器制品株式会社 |
| 主分类号： | G09F9/00 | 分类号： | G09F9/00;G02F1/13;B23Q3/08 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;钟锦舜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够在不产生扭曲的情况下使基板弯曲的基板保持装置。用于吸附保持基板的基板保持装置包括：中央框架，所述中央框架包括吸附基板的吸附体；一对侧部框架，所述侧部框架分别设置在中央框架的两个外侧，中央框架位于其间，各自包括吸附基板的吸附体；以及连接部分，所述连接部分将中央框架和各个侧部框架连接，以便能够使二者围绕互相平行的轴进行回转，所述侧部框架包括滑动部分，该滑动部分在接近和远离中央框架的方向上滑动，在该滑动部分设置有所述侧部框架具有的吸附体。 | ||
| 搜索关键词： | 中央框架 侧部框架 滑动 基板保持装置 吸附体 吸附基板 吸附保持基板 互相平行 基板弯曲 回转 扭曲 | ||
【主权项】：
1.一种基板保持装置，是吸附和保持基板的基板保持装置，其特征在于，包括：中央框架，所述中央框架具有吸附所述基板的吸附体；一对侧部框架，所述一对侧部框架使该中央框架介于其间而分别配置在该中央框架的两外侧，各自具有吸附所述基板的吸附体；以及连接部分，所述连接部分将所述中央框架和每个所述侧部框架连接，以便能够使二者围绕互相平行的轴进行回转，所述侧部框架包括滑动部分，所述滑动部分在接近和远离所述中央框架的方向上滑动，在所述滑动部分设置有所述侧部框架具有的所述吸附体。
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