[发明专利]制造承载板的方法及承载板有效
| 申请号： | 201680086349.9 | 申请日： | 2016-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN109311282B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 安得烈·福尔默;马丁·施奈德 | 申请（专利权）人： | 申克碳化技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B32B18/00 | 分类号： | B32B18/00;C04B35/83;C04B37/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 德国霍伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种承载板(13)和一种制造承载板的方法，承载板特别用于接收和运送半导体产品、晶片或类似物，其中布置由碳纤维形成的编织纤维层以形成叠层，其中用树脂浸渍编织纤维层，并且使树脂固化并热解，然后将叠层石墨化，其中叠层的第一编织纤维层由具有等于或大于12K的长丝纱线的第一编织纤维形成，并且叠层的第二编织纤维层由具有等于或小于6K的长丝纱线的第二编织纤维形成。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 承载 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造承载板(10、13、16、22、29)的方法，所述承载板特别用于接收和运送半导体产品、晶片或其类似物，其中布置由碳纤维构成的编织纤维层以形成叠层，用树脂浸渍所述编织纤维层，并且使所述树脂固化并热解，然后将所述叠层石墨化，其特征在于，所述叠层的第一编织纤维层由具有等于或大于12K的长丝纱线的第一编织纤维形成，并且所述叠层的第二编织纤维层由具有等于或小于6K的长丝纱线的第二编织纤维形成。
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