[发明专利]具有集成式光束分离器的传感器装置

摘要

一种光学干涉测量传感器装置，包括集成式光束分离器(8)，其具有在其中布置有光学端口(PT1‑PT5)的第一面(22)和第二面(23)。在光束分离器(8)上，光束分割接头(J1,J2)以及光电子侧端口(PT1‑PT3)和传感侧端口(PT5)布置成沿着第一面(22)的方向相互移位。该移位使由杂散光引起的不合期望的干涉效应减小。另外，四分之一波长延迟器(QWR)设在光束分离器(8)的凹口(24)中，其中软粘合剂层邻近于四分之一波长延迟器(QWR)以便减小应力。

主权项

1.一种光学传感器装置，其包括：光源(4)，第一光纤(SMF1)，其中来自所述光源(4)的光耦合到所述第一光纤(SMF1)中，集成式光束分离器(8)，其具有光电子侧入口端口(PT1)、第一光电子侧出口端口(PT2)、第二光电子侧出口端口(PT3)，以及传感侧端口(PT5)，其中进入所述光电子侧入口端口(PT1)的光至少部分地耦合到所述传感侧端口(PT5)中，且进入所述传感侧端口(PT5)的光至少部分地分割到所述第一光电子侧出口端口(PT2)和第二光电子侧出口端口(PT3)中，并且其中所述第一光纤(SMF1)定位成将光发送到所述光电子侧入口端口(PT1)中，传感元件(10, 11, 13)，其双折射率作为被测变量的函数而变化，其中来自所述传感侧端口(PT5)的光耦合到所述传感元件(10, 11, 13)中、反射且耦合回到所述传感侧端口(PT5)中，至少一个第二光纤(SMF2)和至少一个第三光纤(SMF3)，其中来自所述第一光电子侧出口端口(PT2)和所述第二光电子侧出口端口(PT3)的光分别被供给到所述第二光纤(SMF2)和第三光纤(SMF3)中，光检测器(PD1, PD2)，其用于测量从所述第二光纤(SMF2)和第三光纤(SMF3)离开的光，其中所述光束分离器(8)包括：a)多个波导区段(W1‑W5)和分割接头(J1‑J3)，以及b)在所述集成式光束分离器(8)的相反的侧部上的第一面(22)和第二面(23)，其中所述光电子侧入口端口(PT1)和所述光电子侧出口端口(PT2‑PT4)布置在所述第一面(22)处，且所述传感侧端口(PT5)布置在所述第二面(23)处，其中，沿平行于所述第一面(22)的方向Y，所述传感侧端口(PT5)相对于所述光电子侧入口端口(PT1)以及所述第一光电子侧出口端口(PT2)和第二光电子侧出口端口(PT3)而偏移达非零的最小端口‑端口偏移量。