[发明专利]用于经控制地接合衬底的方法和样本支架有效
| 申请号： | 201680087883.1 | 申请日： | 2016-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN109496345B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | D.青纳;T.瓦根莱特纳;J.M.聚斯;J.马林格;T.普拉赫 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/18 | 分类号： | H01L21/18;H01L21/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧永杰;刘春元 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于将第一衬底(4o)与第二衬底(4u)在所述衬底(4o、4u)的面向彼此的接触面(4k)处接合的方法和设备。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 接合 衬底 方法 样本 支架 | ||
【主权项】：
1.一种用于将第一衬底(4o)与第二衬底(4u)在所述衬底(4o、4u)的面向彼此的接触面(4k)处接合的方法，所述方法具有以下步骤、尤其是以下流程：将所述第一衬底(4o)容纳在第一容纳装置(1、1’、1”、1’’’、1IV 、1V 、1VI、1VI I)的第一容纳面(1s 、1s’、1s”、1s’’’)上且将所述第二衬底(4u)容纳在第二容纳装置(1、1’、1”、1’’’、1IV 、1V 、1VI、1VI I)的第二容纳面(1s、1s’、1s”、1s’’’)上，通过固定元件(2、2’、2”、2’’’)将所述衬底(4o、4u)固定在所述容纳面(1s、1s’、1s”、1s’’’)上，在所述接触面(4k)的接触之前，使所述接触面(4k)至少之一弯曲，其特征在于，在所述接触之后，首先仅关断沿着唯一接触轴(X)单轴地布置的所述固定元件(2、2’、2”、2’’’)，且剩余的所述固定元件(2、2’、2”、2’’’)保持接通，使得所述衬底(4o、4u)首先仅沿着所述接触轴(X)单轴地相互连接，其中在此后关断所述剩余的固定元件(2、2’、2”、2’’’)，使得所述衬底(4o、4u)整面地相互连接。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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