[发明专利]激光装置有效

专利信息
申请号: 201680088181.5 申请日: 2016-09-30
公开(公告)号: CN109565145B 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 宫本浩孝;若林理 申请(专利权)人: 极光先进雷射株式会社
主分类号: H01S3/137 分类号: H01S3/137
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 于英慧;黄纶伟
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在放电激励式的激光装置中对波长色散进行校正。激光装置具有在与一对放电电极(11a、11b)之间的放电方向垂直的方向上引起波长色散的第1波长色散元件(14a~14e)、以及在与放电方向平行的方向上引起波长色散的第2波长色散元件(32)。激光装置还具有:光学元件(31),其对第2波长色散元件(30)引起的波长色散进行校正;第1致动器(16f),其对第1波长色散元件进行驱动;第2致动器(43),其对光学元件(31)进行驱动;以及控制部(41),其对第1致动器(16f)进行控制使得激光束的中心波长接近目标波长,并对第2致动器(43)进行控制以对第2波长色散元件(30)引起的波长色散进行校正。
搜索关键词: 激光 装置
【主权项】:
1.一种激光装置,其从外部装置接受表示目标波长的信号,对要输出的激光束的中心波长进行控制,其中,所述激光装置具有:激光腔,其包含一对放电电极;第1波长色散元件,其在与所述一对放电电极之间的放电方向垂直的方向上引起波长色散;第2波长色散元件,其在与所述一对放电电极之间的放电方向平行的方向上引起波长色散;光学元件,其对所述第2波长色散元件引起的波长色散进行校正;第1致动器,其对所述第1波长色散元件进行驱动;第2致动器,其对所述光学元件进行驱动;以及控制部,其对所述第1致动器进行控制使得所述激光束的中心波长接近所述目标波长,并对所述第2致动器进行控制以对所述第2波长色散元件引起的波长色散进行校正。
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