[发明专利]具有受控放置的功能化材料的声谐振器装置在审
| 申请号： | 201680088357.7 | 申请日： | 2016-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109642891A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 马修·赖德;里约·里瓦斯;塞恩·爱德华兹 | 申请（专利权）人： | QORVO美国公司 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 杨帆 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微机电系统(MEMS)谐振器装置，包括至少一种功能化材料，所述功能化材料布置在顶侧电极的至少中心部分上，但是少于整个顶侧电极。对于在中心点处表现出最大灵敏度并且沿其外围具有降低的灵敏度的有源区域，在谐振器有源区域的至少一个外围部分上省略功能化材料防止分析物在最低灵敏度的区域中结合。至少一种功能化材料的最大长度在有源区域长度的约20％至约95％的范围内延伸，并且最大宽度在有源区域宽度的约50％至100％的范围内延伸。还提供了用于制造MEMS谐振器装置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 功能化材料 源区域 灵敏度 电极 顶侧 外围 微机电系统 谐振器装置 最大灵敏度 声谐振器 分析物 谐振器 中心点 省略 延伸 受控 制造 表现 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)谐振器装置，包括：基板；设置在所述基板的至少一部分上的体声波谐振器结构，所述体声波谐振器结构包括压电材料、布置在所述压电材料的一部分上的顶侧电极以及布置在所述压电材料和所述基板之间的底侧电极，其中一部分所述压电材料布置在所述顶侧电极和所述底侧电极之间以形成有源区域，所述顶侧电极包括与所述底侧电极重叠并与所述有源区域重合的有源区域部分，所述有源区域部分包括有源区域宽度，并且所述有源区域部分包括垂直于所述有源区域宽度延伸的有源区域长度；以及布置在所述顶侧电极的至少中心部分上的至少一种功能化材料，其中所述至少一种功能化材料的最大长度在所述有源区域长度的约20％至约95％的范围内延伸并且最大宽度在所述有源区域宽度的约50％至100％的范围内延伸。
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