[发明专利]异物去除装置、异物去除系统和异物去除方法在审
| 申请号： | 201680088508.9 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN109562417A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 山崎生志 | 申请（专利权）人： | 堺显示器制品株式会社 |
| 主分类号： | B08B5/00 | 分类号： | B08B5/00;B08B6/00 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 汪飞亚;习冬梅 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 用于去除基板上附着的异物的异物去除装置具备喷射部、异物抽吸部和罩体。喷射部对着宽度比基板的整个宽度小的部位喷射气体，异物抽吸部将异物与由该喷射部对着基板喷射出的气体一起抽吸，罩体覆盖被喷射部喷射气体的部位。 | ||
| 搜索关键词： | 喷射部 基板 异物去除装置 喷射气体 异物抽吸 异物去除 异物 罩体 宽度比 抽吸 附着 去除 喷射 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种异物去除装置，用于去除附着在基板上的异物，其特征在于，所述异物去除装置具备：喷射部，对着宽度比所述基板的整个宽度小的部位喷射气体；异物抽吸部，将异物与由所述喷射部对着所述基板喷射出的气体一起抽吸；以及罩体，覆盖被所述喷射部喷射气体的部位。
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