[发明专利]电子束装置有效
| 申请号： | 201680089774.3 | 申请日： | 2016-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN109804450B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 糟谷圭吾;荒井纪明;楠敏明;大岛卓;桥诘富博;酒井佑辅 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/073 | 分类号： | H01J37/073;H01J1/30;H01J9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柯瑞京 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
即使在对CFE电子源使用CeB |
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| 搜索关键词： | 电子束 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束装置，具备冷阴极场致发射电子源，其特征在于，所述冷阴极场致发射电子源的电子束的发射部是Ce的六硼化物或者比Ce重的镧系元素金属的六硼化物，所述六硼化物从{310}面发射电子束，所述{310}面的所述镧系元素金属的原子数比由所述{310}面的六个硼构成的硼分子数多。
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