[发明专利]具有锯齿状金属迹线布局的集成电路器件在审
| 申请号： | 201680090654.5 | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109952642A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | P·莫罗;M·J·科布林斯基;M·T·博尔;T·加尼;R·米恩德鲁;R·库马尔 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H01L27/02 | 分类号： | H01L27/02;G06F17/50;G06F13/40;H01L23/528;H01L23/538 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 林金朝;王英 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 集成电路(IC)单元架构包括锯齿状互连迹线布局。可以采用锯齿状迹线布局，其中IC单元包括晶体管，晶体管具有通过背侧(3D)路由方案互联的源极/漏极端子，该方案减小了给定晶体管占有面积的前侧路由密度。在锯齿状布局中，相邻互连迹线或轨道可以具有根据单元的锯齿状相位交错的端部。锯齿状轨道可以与一个单元边界相交，相邻轨道与相对单元边界相交。轨道端部可以偏移至少下方正交互连迹线的宽度。锯齿状轨道可以偏移下方正交互连迹线的宽度与相邻正交互连迹线之间一半间距之和。 | ||
| 搜索关键词： | 迹线 锯齿状 晶体管 锯齿状轨道 单元边界 互连迹线 偏移 路由 相交 集成电路器件 锯齿状金属 单元架构 轨道端部 漏极端子 相邻轨道 正交互连 减小 源极 集成电路 交错 互联 轨道 | ||
【主权项】：
1.一种具有锯齿状迹线布局的集成电路(IC)单元，其中：所述锯齿状迹线布局包括在一方向上延伸的多条迹线；所述多条迹线中的个体迹线仅与所述单元的一个边界相交；并且所述多条迹线中的相邻迹线交错，以与所述单元的相对侧上的边界相交。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
